热烈祝贺山东艾诺仪器有限公司无尘间净化项目顺利竣工

发布时间：2017-07-24

洁净工作区 clean working area
指洁净室内离地面高度0.8～1.5m（除工艺特殊要求外）的区域。

空气吹淋室 air shower
利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员表面附着粒子的小室。

气闸室 air lock
设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。

传递窗 pass box
在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧装有不能同时开启的窗扇。

洁净工作台 clean bench
能够保持操作空间所需洁净度的工作台。

洁净工作服 clean working garment
为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。

空态 as-built
设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。

静态 at-rest
设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。

 动态 operational
设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。

检漏试验 leakage test
检查空气过滤器及其与安装框架连接部位等的密封性试验。

高效空气过滤器 HEPA（high efficiency particulate airfilter）
在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。

超高效空气过滤器 ULPA（ultra low penetration airfilter）
在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa以下的空气过滤器。

纯水 purity water
对电解质杂质含量（常以电阻率表征）和非电解质杂质（如微粒、有机物、细菌和溶解气体等）含量均有要求的水。

防静电环境 ESD controlled environment
能防止静电危害的特定环境，在这一环境中不易产生静电，静电产生后易于消散或消除，静电噪声难以传播。